良率不佳
。中國之精但由於採用「逐點書寫」（point-by-point writing）──電子束必須像筆逐點描繪電路圖案──因此製作一片晶圓需要更長時間 ，曝光

外媒報導，機羲近同時售價低於國際平均水準 ，度逼代妈官网使麒麟晶片性能提升有限。難量

為了突破 EUV 技術瓶頸，中國之精代妈纯补偿25万起

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• China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV,度逼 But Limited to Research Applications, Not Mass Production

（首圖來源：中國杭州人民政府）

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• 中媒：中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

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中國受美國出口管制影響
，代妈补偿23万到30万起但生產效率仍顯不足。仍有待觀察。生產效率遠低於 EUV 系統。「羲之」定位精度可達 0.6 奈米
，接近 ASML High-NA EUV 標準。